- полирование коллектора
- личкува́ння коле́ктора
Русско-украинский политехнический словарь. 2013.
Русско-украинский политехнический словарь. 2013.
ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ — (от англ. planar плоский), совокупность способов изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем путем формирования их структур только с одной стороны пластины (подложки), вырезанной из монокристалла. П. т. основа микроэлектроники,… … Химическая энциклопедия